Составить спецификацию на кварц и кристаллическое стекло для промышленная лазерная обработка — это по большей части вопрос о том, какие три числа действительно управляют применением, а остальные следуют за ними. В этом руководстве разобраны параметры, которые должны попасть на чертёж, допуски, которые по-настоящему меняют цену, и пункты спецификации, которые обычно опускают, а потом спорят о них при приёмке первого образца.
Оптический кварц и кристаллическое стекло в Промышленная лазерная обработка
Для промышленная лазерная обработка это означает конкретный набор требований, а не общее предпочтение качества. Лазерные системы создают самую высокую плотность энергии среди всех применений на покрытиях и окнах в своём тракте. Порог повреждения, поглощение и термолинзирование определяют, держит ли станок смещение фокуса за смену непрерывной работы, а любой отказ покрытия — немедленная остановка производства.
Правила проектирования, снижающие стоимость
Проектировать с кварцем — значит использовать его свойства, не платя за них дважды. Применяйте его там, где действительно нужны пропускание в УФ, низкое расширение или высокий порог повреждения, а в остальных местах используйте обычное оптическое стекло; гибридная сборка с кварцевым окном и боросиликатным крепёжным кольцом должна учитывать рассогласование расширений, которое значительно, даже если сам кварц смещается очень мало. Держите кромки с фаской и не зажимайте деталь прямо за оптическую поверхность. Избегайте одновременного задания очень тонкой детали и очень жёсткой плоскостности, если крепление этого не обеспечит. Для поляризационной работы укажите на чертеже ориентацию оси. В Промышленная лазерная обработка короткий разбор конструкции до первого реза обычно полностью снимает один из жёстких допусков, а это самое дешёвое из возможных перепроектирований.
Особенности покрытия и осаждения
Нанесение покрытия на кварц означает работу с напряжениями и чистотой. Его низкое расширение означает, что подложка не снимет напряжения, которые вносит плотный оксидный стек, поэтому на тонких деталях покрытие может заметно выгнуть окно; иногда требуется уравновешенная конструкция со слоем, компенсирующим напряжения, на обратной стороне. Кварц притягивает и удерживает загрязнения иначе, чем мягкое стекло, поэтому очистка перед нанесением покрытия длиннее и обычно включает обработку УФ-озоном или в плазме. Для лазерных деталей спецификацию определяют поглощение покрытия и порог повреждения, и покрытие нужно оценивать на рабочей длине волны и длительности импульса, а не по удобному широкополосному среднему. В Промышленная лазерная обработка именно сочетание твёрдого покрытия с низким поглощением и кромки с фаской и тонкой доводкой позволяет кварцевому окну пережить и оптический поток, и термический цикл.
Как кварц и кристаллическое стекло работает на практике
Кварц и кристаллическое стекло охватывают два родственных, но различных материала. Плавленый кварц — синтетический аморфный диоксид кремния, получаемый плавлением или химическим осаждением из газовой фазы; это материал выбора всюду, где деталь должна работать ниже примерно 250 nm, выдерживать высокую энергию лазера или переносить быстрые изменения температуры. Кристаллический кварц — природный или выращенный кристалл, ценный своими пьезоэлектрическими свойствами и применяемый в стабилизации частоты, поляризационной оптике и там, где важна его специфическая оптическая активность. Оба обладают очень низким коэффициентом теплового расширения, примерно в семнадцать раз ниже, чем у натриево-известкового стекла, и поэтому кварцевое окно переживает температурный градиент, который расколол бы обычное стекло. В Промышленная лазерная обработка именно эта термическая стабильность в сочетании с пропусканием в глубоком УФ обычно и есть причина задать кварц вместо более дешёвого оптического стекла.
Допуски, которые действительно важны
Кварцевые детали рассчитывают так же, как другие оптические элементы, но несколько допусков заслуживают особого внимания. Плоскостность и волновой фронт на пропускание измеряют на заданной длине волны, и поскольку кварц жёсткий и малорасширяющийся, отличная плоскостность действительно достижима, а не номинальна. Двулучепреломление задают в нанометрах на сантиметр для плавленых деталей, и оно внутренне присуще кристаллическому материалу; если применение чувствительно к поляризации, это число должно стоять на чертеже. Для пластин общее отклонение толщины и коробление важны наравне с оптической формой, потому что деталь может обрабатываться на вакуумном столе, где плоскостность задаётся механически. Качество поверхности указывают в скретч-диг, а обработку кромки — в размере скола. В Промышленная лазерная обработка стоит указать, должна ли форма поверхности сохраняться при рабочей температуре или только при комнатной.
Стандарты, документация и прослеживаемость
Кварцевая оптика задаётся теми же чертёжными стандартами, что и другие элементы, — ISO 10110 и ISO 12123, — с дополнительными спецификациями материала, охватывающими содержание OH, класс пузырей и однородность. Лазерные применения ссылаются на стандарты испытаний порога повреждения и часто требуют данных по контрольным образцам. Спецификации чистоты становятся важны для деталей, соседствующих с полупроводниковым производством, где число частиц на единицу площади контролируется и документируется. Экологическое соответствие покрывается декларациями RoHS и REACH. В Промышленная лазерная обработка документацией, которая чаще всего определяет, можно ли выпустить деталь, является прослеживаемость до партии материала, потому что проблему с однородностью или включениями, обнаруженную при сборке, можно локализовать только если затронутые детали поддаются идентификации.
Требования, специфичные для Промышленная лазерная обработка
Для промышленная лазерная обработка это означает конкретный набор требований, а не общее предпочтение качества. Лазерные системы создают самую высокую плотность энергии среди всех применений на покрытиях и окнах в своём тракте. Порог повреждения, поглощение и термолинзирование определяют, держит ли станок смещение фокуса за смену непрерывной работы, а любой отказ покрытия — немедленная остановка производства.
- Порог лазерного повреждения на рабочей длине волны и длительности импульса
- Низкое поглощение для ограничения термолинзирования
- Кварцевые подложки или подложки из плавленого кварца
- Точный волновой фронт на пропускание для стабильности фокуса
Методы испытаний порога повреждения ISO 11551 и ISO 21254, чертежи по ISO 10110 и документация по лазерной безопасности для готовой системы.
Данные для выбора одним взглядом
| Параметр | Типичное значение | Примечания |
|---|---|---|
| Полоса пропускания | 185 - 2500 nm (плавленый кварц) | От глубокого УФ до ближнего ИК |
| Показатель преломления | 1.458 (плавленый кварц) | Низкий и высокооднородный |
| CTE | 0.55 × 10⁻⁶ /K | Стойкость к термоудару |
| Содержание OH | < 10 ppm низкое OH, > 200 ppm высокое OH | Выбирается по применению в УФ или ИК |
| Двулучепреломление | < 5 nm/cm (плавленый) | Кристаллический кварц по природе анизотропен |
| Плоскостность | от λ/4 до λ/10 | Кварцевые пластины до λ/20 |
| Скретч-диг | 40-20 стандарт, 20-10 прецизионный | ISO 10110-7 |
| Диапазон толщин | 0.1 - 30 mm | Пластины от 0.1 mm |
| Обработка кромки | Шлифованная, с фаской или тонко доведённая | Сколы ≤ 0.05 mm |
Часто задаваемые вопросы
Насколько плоским можно сделать кварцевое окно?
λ/4 - λ/10 на 633 nm — рутина, а кварцевые пластины можно полировать до λ/20. Поскольку кварц жёсткий и малорасширяющийся, форма стабильна, но в спецификации нужно указать, требуется ли плоскостность в свободном состоянии или в закреплённом.
Поставляете ли вы кварцевые пластины так же, как окна?
Да, от 0.1 mm и выше, с контролем общего отклонения толщины и коробления под обработку на вакуумном столе и с профилями кромки, выбранными под автоматизированное оборудование.
Когда выбирать кварц, а не оптическое стекло?
Когда деталь должна пропускать ниже примерно 300 nm, выдерживать быстрый термический цикл или переносить высокую энергию лазера. Для окон и фильтров видимого диапазона боросиликат или B270 выполняют ту же функцию за долю стоимости.
Нужно коммерческое предложение на оптический кварц и кристаллическое стекло?
Пришлите чертёж, целевую спецификацию или требования к покрытию — оптический инженер ответит в течение 24 часов, указав цену и срок поставки.
Запросить предложение Написать инженеру