Составить спецификацию на кварц и кристаллическое стекло для полупроводниковое производство и фотолитография — это по большей части вопрос о том, какие три числа действительно управляют применением, а остальные следуют за ними. В этом руководстве разобраны параметры, которые должны попасть на чертёж, допуски, которые по-настоящему меняют цену, и пункты спецификации, которые обычно опускают, а потом спорят о них при приёмке первого образца.
Оптический кварц и кристаллическое стекло в Полупроводниковое производство и фотолитография
Для полупроводниковое производство и фотолитография это означает конкретный набор требований, а не общее предпочтение качества. Внутри фабрики оптический компонент — это риск загрязнения в не меньшей степени, чем оптическая деталь. Кварцевые окна, пластины и оптика для контроля должны изготавливаться из аттестованного материала с контролируемым содержанием металлов, очищаться до уровней по частицам и документироваться достаточно хорошо, чтобы пройти аудит. Пропускание в глубоком ультрафиолете и однородность определяют оптические характеристики.
Допуски, которые действительно важны
Кварцевые детали рассчитывают так же, как другие оптические элементы, но несколько допусков заслуживают особого внимания. Плоскостность и волновой фронт на пропускание измеряют на заданной длине волны, и поскольку кварц жёсткий и малорасширяющийся, отличная плоскостность действительно достижима, а не номинальна. Двулучепреломление задают в нанометрах на сантиметр для плавленых деталей, и оно внутренне присуще кристаллическому материалу; если применение чувствительно к поляризации, это число должно стоять на чертеже. Для пластин общее отклонение толщины и коробление важны наравне с оптической формой, потому что деталь может обрабатываться на вакуумном столе, где плоскостность задаётся механически. Качество поверхности указывают в скретч-диг, а обработку кромки — в размере скола. В Полупроводниковое производство и фотолитография стоит указать, должна ли форма поверхности сохраняться при рабочей температуре или только при комнатной.
Правила проектирования, снижающие стоимость
Проектировать с кварцем — значит использовать его свойства, не платя за них дважды. Применяйте его там, где действительно нужны пропускание в УФ, низкое расширение или высокий порог повреждения, а в остальных местах используйте обычное оптическое стекло; гибридная сборка с кварцевым окном и боросиликатным крепёжным кольцом должна учитывать рассогласование расширений, которое значительно, даже если сам кварц смещается очень мало. Держите кромки с фаской и не зажимайте деталь прямо за оптическую поверхность. Избегайте одновременного задания очень тонкой детали и очень жёсткой плоскостности, если крепление этого не обеспечит. Для поляризационной работы укажите на чертеже ориентацию оси. В Полупроводниковое производство и фотолитография короткий разбор конструкции до первого реза обычно полностью снимает один из жёстких допусков, а это самое дешёвое из возможных перепроектирований.
Особенности покрытия и осаждения
Нанесение покрытия на кварц означает работу с напряжениями и чистотой. Его низкое расширение означает, что подложка не снимет напряжения, которые вносит плотный оксидный стек, поэтому на тонких деталях покрытие может заметно выгнуть окно; иногда требуется уравновешенная конструкция со слоем, компенсирующим напряжения, на обратной стороне. Кварц притягивает и удерживает загрязнения иначе, чем мягкое стекло, поэтому очистка перед нанесением покрытия длиннее и обычно включает обработку УФ-озоном или в плазме. Для лазерных деталей спецификацию определяют поглощение покрытия и порог повреждения, и покрытие нужно оценивать на рабочей длине волны и длительности импульса, а не по удобному широкополосному среднему. В Полупроводниковое производство и фотолитография именно сочетание твёрдого покрытия с низким поглощением и кромки с фаской и тонкой доводкой позволяет кварцевому окну пережить и оптический поток, и термический цикл.
Как кварц и кристаллическое стекло работает на практике
Кварц и кристаллическое стекло охватывают два родственных, но различных материала. Плавленый кварц — синтетический аморфный диоксид кремния, получаемый плавлением или химическим осаждением из газовой фазы; это материал выбора всюду, где деталь должна работать ниже примерно 250 nm, выдерживать высокую энергию лазера или переносить быстрые изменения температуры. Кристаллический кварц — природный или выращенный кристалл, ценный своими пьезоэлектрическими свойствами и применяемый в стабилизации частоты, поляризационной оптике и там, где важна его специфическая оптическая активность. Оба обладают очень низким коэффициентом теплового расширения, примерно в семнадцать раз ниже, чем у натриево-известкового стекла, и поэтому кварцевое окно переживает температурный градиент, который расколол бы обычное стекло. В Полупроводниковое производство и фотолитография именно эта термическая стабильность в сочетании с пропусканием в глубоком УФ обычно и есть причина задать кварц вместо более дешёвого оптического стекла.
Требования, специфичные для Полупроводниковое производство и фотолитография
Для полупроводниковое производство и фотолитография это означает конкретный набор требований, а не общее предпочтение качества. Внутри фабрики оптический компонент — это риск загрязнения в не меньшей степени, чем оптическая деталь. Кварцевые окна, пластины и оптика для контроля должны изготавливаться из аттестованного материала с контролируемым содержанием металлов, очищаться до уровней по частицам и документироваться достаточно хорошо, чтобы пройти аудит. Пропускание в глубоком ультрафиолете и однородность определяют оптические характеристики.
- Пропускание в глубоком УФ с контролируемым содержанием OH
- Чистота по частицам, измеряемая на единицу площади
- Однородность и низкое двулучепреломление
- Полная прослеживаемость материала, включая содержание металлов
Стандарты SEMI по обращению с пластинами и чистоте, ISO 10110 для оптических чертежей и спецификации материалов конкретной фабрики.
Данные для выбора одним взглядом
| Параметр | Типичное значение | Примечания |
|---|---|---|
| Полоса пропускания | 185 - 2500 nm (плавленый кварц) | От глубокого УФ до ближнего ИК |
| Показатель преломления | 1.458 (плавленый кварц) | Низкий и высокооднородный |
| CTE | 0.55 × 10⁻⁶ /K | Стойкость к термоудару |
| Содержание OH | < 10 ppm низкое OH, > 200 ppm высокое OH | Выбирается по применению в УФ или ИК |
| Двулучепреломление | < 5 nm/cm (плавленый) | Кристаллический кварц по природе анизотропен |
| Плоскостность | от λ/4 до λ/10 | Кварцевые пластины до λ/20 |
| Скретч-диг | 40-20 стандарт, 20-10 прецизионный | ISO 10110-7 |
| Диапазон толщин | 0.1 - 30 mm | Пластины от 0.1 mm |
| Обработка кромки | Шлифованная, с фаской или тонко доведённая | Сколы ≤ 0.05 mm |
Часто задаваемые вопросы
Поставляете ли вы кварцевые пластины так же, как окна?
Да, от 0.1 mm и выше, с контролем общего отклонения толщины и коробления под обработку на вакуумном столе и с профилями кромки, выбранными под автоматизированное оборудование.
Когда выбирать кварц, а не оптическое стекло?
Когда деталь должна пропускать ниже примерно 300 nm, выдерживать быстрый термический цикл или переносить высокую энергию лазера. Для окон и фильтров видимого диапазона боросиликат или B270 выполняют ту же функцию за долю стоимости.
В чём разница между плавленым кварцем с низким и высоким содержанием OH?
Материал с низким содержанием OH имеет минимум гидроксильных групп и пропускает дальше в инфракрасную область. Материал с высоким содержанием OH содержит несколько сотен частей на миллион гидроксильных групп, что улучшает пропускание в глубоком УФ и стойкость к солнеризации.
Нужно коммерческое предложение на оптический кварц и кристаллическое стекло?
Пришлите чертёж, целевую спецификацию или требования к покрытию — оптический инженер ответит в течение 24 часов, указав цену и срок поставки.
Запросить предложение Написать инженеру