أشباه الموصلات والإلكترونيات الدقيقة

ما يتطلبه هذا التطبيق

تفرض عمليات أشباه الموصلات ومعدات القياس متطلبات أقرب إلى المواد الاستهلاكية في غرف الأبحاث مقارنة بالمكون البصري. غالبًا ما تكون نظافة الجسيمات وإطلاق الغازات واستقرار الأبعاد والتسطيح هي ما يقلق مهندس الأداة؛ قد يكون منحنى النقل ثابتًا بالفعل بواسطة الطول الموجي للعملية ويجب ببساطة الاحتفاظ به بشكل متكرر من دفعة إلى أخرى.

انتقال الأشعة فوق البنفسجية هو الشرط المحدد الآخر. ومع تحرك الأطوال الموجية للعملية بشكل أعمق في الأشعة فوق البنفسجية، يضيق اختيار الركيزة بشكل حاد، حيث يتوقف البورسليكات العادي عن الإرسال حيث تحتاج العملية إلى العمل، ولن يفعل ذلك سوى السيليكا المنصهرة بالأشعة فوق البنفسجية أو الياقوت. التسطيح مهم في علم القياس لأن السطح المرجعي يحدد القياس، وليس الصورة فقط.

المواصفات التي نوصي بها

أوضاع الفشل التي نصمم ضدها

يعد تلوث الجسيمات الذي يصل مع الجهاز البصري هو السبب الأكثر شيوعًا للجزء المرفوض في هذا القطاع، ولهذا السبب نقوم بالتنظيف والتعبئة وفقًا للبروتوكول وليس كخطوة نهائية. يظهر الضباب السطحي وعلامات الماء على الفور في فحص المجال المظلم ويتم منعها عن طريق الشطف والتجفيف المتحكم فيه بدلاً من التلميع الإضافي.

الاستقرار الميكانيكي هو الشاغل الثاني. عندما يتم تثبيت النافذة في أداة وتدويرها حرارياً، فإن السماكة الصغيرة أو تغير التسطيح يترجم مباشرة إلى تباين بصري. يعد الاحتفاظ بتسامح السُمك بإحكام في البداية أرخص من التعويض عنه في الأداة.

الأسئلة المتداولة