Was diese Anwendung erfordert
Halbleiterprozess- und Messgeräte stellen Anforderungen, die denen eines Reinraum-Verbrauchsmaterials ähnlicher sind als denen einer optischen Komponente. Partikelsauberkeit, Ausgasung, Dimensionsstabilität und Ebenheit sind oft das, worüber sich der Werkzeugingenieur Sorgen macht; Die Transmissionskurve kann bereits durch die Prozesswellenlänge festgelegt sein und muss lediglich von Charge zu Charge wiederholbar eingehalten werden.
Die UV-Durchlässigkeit ist die andere entscheidende Anforderung. Je tiefer die Prozesswellenlängen in den ultravioletten Bereich vordringen, desto enger wird die Auswahl des Substrats – gewöhnliches Borosilikat hört dort auf zu übertragen, wo der Prozess funktionieren muss, und nur Quarzglas oder Saphir in UV-Qualität reichen aus. Ebenheit ist in der Messtechnik wichtig, da die Referenzoberfläche die Messung definiert, nicht nur das Bild.
Spezifikationen, die wir empfehlen
| Komponente | Typische Spezifikation | Warum |
|---|---|---|
| Ansichtsfenster und Prozessfenster | Quarzglas in UV-Qualität, niedriger OH-Gehalt, enge Dickentoleranz | Überträgt die Prozesswellenlänge ohne Solarisations- oder Absorptionsverluste |
| Träger- und Stützwafer | Borosilikat- oder Displayglas, TTV unter 3 µm | Die Ebenheit steuert die Gleichmäßigkeit des darüber liegenden Prozesses |
| Referenzplatten für die Messtechnik | Poliertes Quarzglas, Ebenheit bis λ/10, interferometrisch verifiziert | Die Referenzfläche definiert die Genauigkeit des Instruments |
| Inspektionsoptik | Breitbandige AR-Beschichtungen auf Glas und Quarz | Hohe Transmission zur Fehlerprüfung ohne Hinzufügung von Geisterbildern |
Fehlermodi, gegen die wir entwerfen
Die mit der Optik eintreffende Partikelverunreinigung ist in diesem Sektor die häufigste Ursache für ein Ausschussteil. Deshalb reinigen und verpacken wir nach einem Protokoll und nicht als letzten Schritt. Oberflächenschleier und Wasserflecken treten bei der Dunkelfeldprüfung sofort in Erscheinung und werden durch kontrolliertes Spülen und Trocknen und nicht durch zusätzliches Polieren verhindert.
Die mechanische Stabilität ist das zweite Anliegen. Wenn ein Fenster in ein Werkzeug eingespannt und thermisch zyklisch betrieben wird, führen kleine Abweichungen in der Dicke oder Ebenheit direkt zu optischen Abweichungen. Die Dickentoleranz von Anfang an eng beizubehalten ist günstiger, als sie im Werkzeug auszugleichen.
Häufig gestellte Fragen
Können Sie UV-geeignetes Material für Fenster mit tiefem UV-Schutz liefern?
Ja – Quarzglas in UV-Qualität mit niedrigem OH-Gehalt ist der Standardweg, bei Saphir kommt es auch auf Härte oder mittlere IR-Transmission an.
Ist bei beschichteten Teilen eine Ebenheit auf Waferebene erreichbar?
Die Beschichtung trägt einen kleinen Figurbeitrag bei. Wir messen die Wellenfront oder Ebenheit nach der Abscheidung. Dies ist die Zahl, die die Leistung des Werkzeugs bestimmt.