Ce que demande cette application
Les équipements de traitement et de métrologie des semi-conducteurs imposent des exigences plus proches d’un consommable de salle blanche que d’un composant optique. La propreté des particules, le dégazage, la stabilité dimensionnelle et la planéité sont souvent des préoccupations qui préoccupent l'ingénieur en outillage ; la courbe de transmission peut déjà être fixée par la longueur d'onde du processus et doit simplement être maintenue de manière répétée d'un lot à l'autre.
La transmission UV est l’autre exigence déterminante. À mesure que les longueurs d'onde du processus s'enfoncent plus profondément dans l'ultraviolet, le choix du substrat se rétrécit considérablement : le borosilicate ordinaire cesse de transmettre là où le processus doit fonctionner, et seules la silice fondue ou le saphir de qualité UV feront l'affaire. La planéité est importante en métrologie car la surface de référence définit la mesure, pas seulement l'image.
Spécifications que nous recommandons
| Composant | Spécification typique | Pourquoi |
|---|---|---|
| Fenêtres d'affichage et de processus | Silice fondue de qualité UV, faible OH, tolérance d'épaisseur serrée | Transmet la longueur d'onde du processus sans pertes de solarisation ni d'absorption |
| Plaquettes de support et de support | Verre borosilicaté ou d'affichage, TTV inférieur à 3 µm | La planéité contrôle l'uniformité du processus au-dessus |
| Plaques de référence de métrologie | Silice fondue polie, planéité jusqu'à λ/10, vérifiée par interférométrie | La surface de référence définit la précision de l'instrument |
| Optique d'inspection | Revêtements AR à large bande sur verre et quartz | Transmission élevée pour l'examen des défauts sans ajouter d'images fantômes |
Modes de défaillance contre lesquels nous concevons
La contamination par les particules arrivant avec l'optique est la cause la plus courante de rejet d'une pièce dans ce secteur, c'est pourquoi nous nettoyons et emballons selon un protocole plutôt que comme une étape finale. Le voile de surface et les traces d'eau apparaissent immédiatement lors de l'inspection sur fond noir et sont évités par un rinçage et un séchage contrôlés plutôt que par un polissage supplémentaire.
La stabilité mécanique est la deuxième préoccupation. Lorsqu'une fenêtre est serrée dans un outil et soumise à un cycle thermique, une faible variation d'épaisseur ou de planéité se traduit directement par une variation optique. Il est moins coûteux de maintenir fermement la tolérance d'épaisseur au début que de la compenser dans l'outil.
Questions fréquemment posées
Pouvez-vous fournir un matériau de qualité UV pour les fenêtres à UV profond ?
Oui – la silice fondue de qualité UV à faible teneur en OH est la voie standard, avec le saphir où la dureté ou la transmission IR moyenne comptent également.
La planéité au niveau de la tranche est-elle réalisable sur les pièces revêtues ?
Le revêtement ajoute une petite contribution au chiffre. Nous mesurons le front d'onde ou la planéité après le dépôt, qui est le nombre qui régit les performances de l'outil.