O que esta aplicação exige
O processo de semicondutores e os equipamentos de metrologia impõem requisitos que estão mais próximos de um consumível de sala limpa do que de um componente óptico. Limpeza de partículas, liberação de gases, estabilidade dimensional e planicidade são frequentemente as preocupações do engenheiro de ferramentas; a curva de transmissão pode já estar fixada pelo comprimento de onda do processo e simplesmente deve ser mantida repetidamente de lote para lote.
A transmissão UV é o outro requisito definidor. À medida que os comprimentos de onda do processo se movem mais profundamente no ultravioleta, a escolha do substrato diminui drasticamente – o borosilicato comum para de transmitir onde o processo precisa funcionar, e apenas a sílica fundida ou a safira de grau UV servirão. A planicidade é importante em metrologia porque a superfície de referência define a medição, não apenas a imagem.
Especificações que recomendamos
| Componente | Especificação típica | Por que |
|---|---|---|
| Janela de visualização e processo | Sílica fundida de grau UV, baixo OH, tolerância de espessura restrita | Transmite o comprimento de onda do processo sem solarização ou perdas de absorção |
| Wafers de transporte e suporte | Borossilicato ou vidro de exibição, TTV abaixo de 3 µm | A planicidade controla a uniformidade do processo acima dela |
| Placas de referência metrológica | Sílica fundida polida, planicidade de λ/10, verificada interferometricamente | A superfície de referência define a precisão do instrumento |
| Óptica de inspeção | Revestimentos AR de banda larga em vidro e quartzo | Alta transmissão para revisão de defeitos sem adição de imagens fantasmas |
Modos de falha contra os quais projetamos
A contaminação por partículas que chegam com a óptica é a causa mais comum de uma peça rejeitada neste setor, e é por isso que limpamos e embalamos de acordo com um protocolo e não como uma etapa final. A névoa superficial e as marcas de água aparecem imediatamente na inspeção em campo escuro e são evitadas por meio de enxágue e secagem controlados, em vez de polimento adicional.
A estabilidade mecânica é a segunda preocupação. Quando uma janela é fixada em uma ferramenta e ciclada termicamente, pequenas variações de espessura ou planicidade se traduzem diretamente em variação óptica. Manter a tolerância de espessura firmemente no início é mais barato do que compensá-la na ferramenta.
Perguntas frequentes
Você pode fornecer material de qualidade UV para janelas com UV profundo?
Sim – a sílica fundida de grau UV com baixo teor de OH é a rota padrão, com safira onde a dureza ou a transmissão de infravermelho médio também são importantes.
A planicidade no nível do wafer é alcançável em peças revestidas?
O revestimento adiciona uma pequena contribuição figurativa. Medimos a frente de onda ou planicidade após a deposição, que é o número que rege o desempenho da ferramenta.