Что требует это приложение
Полупроводниковое технологическое и метрологическое оборудование предъявляет требования, которые больше подходят к расходным материалам для чистых помещений, чем к оптическим компонентам. Инженер-инструментальщик часто беспокоится о чистоте частиц, выделении газов, стабильности размеров и плоскостности; кривая передачи уже может быть фиксирована длиной волны процесса, и ее просто необходимо сохранять с повторяемостью от партии к партии.
Пропускание ультрафиолета является еще одним определяющим требованием. По мере того как длины волн процесса перемещаются глубже в ультрафиолет, выбор подложки резко сужается — обычный боросиликат перестает пропускать свет там, где процесс должен работать, и подойдет только кварцевый кварц или сапфир, предназначенный для УФ-излучения. Плоскостность имеет значение в метрологии, поскольку эталонная поверхность определяет измерение, а не только изображение.
Характеристики, которые мы рекомендуем
| Компонент | Типичная спецификация | Почему |
|---|---|---|
| Окна просмотра и обработки | Плавленый кварц, устойчивый к УФ-излучению, низкий уровень OH, строгие допуски по толщине | Передаёт длину волны процесса без потерь на соляризацию или поглощение |
| Несущие и опорные пластины | Боросиликатное или дисплейное стекло, TTV менее 3 мкм. | Плоскостность контролирует однородность процесса над ней. |
| Метрологические эталонные таблички | Полированный плавленый кварц, плоскостность до λ/10, проверено интерферометрически. | Базовая поверхность определяет точность прибора. |
| Инспекционная оптика | Широкополосные просветляющие покрытия на стекле и кварце | Высокая передача для проверки дефектов без добавления призрачных изображений |
Виды отказов, против которых мы проектируем
Загрязнение частицами, попадающими вместе с оптикой, является наиболее распространенной причиной брака детали в этом секторе, поэтому мы очищаем и упаковываем ее в соответствии с протоколом, а не на последнем этапе. Помутнение поверхности и водяные знаки сразу же обнаруживаются при проверке в темном поле, и их можно предотвратить путем контролируемого ополаскивания и сушки, а не путем дополнительной полировки.
Механическая стабильность является второй проблемой. Когда окно закрепляется в инструменте и подвергается термическому циклированию, небольшие отклонения по толщине или плоскостности напрямую приводят к оптическим отклонениям. Жестко удерживать допуск по толщине на старте дешевле, чем компенсировать его в инструменте.
Часто задаваемые вопросы
Можете ли вы поставить УФ-материал для окон с глубоким УФ-излучением?
Да, плавленый кварц, предназначенный для УФ-излучения, с низким содержанием ОН является стандартным способом, а для сапфира также важны твердость или пропускание среднего ИК-излучения.
Достижима ли плоскостность на уровне пластины на деталях с покрытием?
Покрытие вносит небольшой вклад в фигуру. Мы измеряем волновой фронт или плоскостность после осаждения, и это число, определяющее производительность инструмента.